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廣州潽拓光電科技有限公司——Agilent分子泵維修

有下面這些異常一定要盡早檢修分子泵是高速旋轉的機械，軸承故障可能會(huì )造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態(tài)不良時(shí)，會(huì )有一系列的現象，如分子泵無(wú)法啟動(dòng)，運行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環(huán)境和進(jìn)排氣壓力過(guò)高等外界因素后，應盡快停泵，送到維修中心進(jìn)行檢修。

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渦輪分子泵也是一種機械式真空泵，通過(guò)高速旋轉的多級渦輪轉子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區域內對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴散泵高，可達10^-8pa。正常工作時(shí)需要一定的前級真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200Pa之間，可采用機械泵作為前級泵，高真空機組是由分子泵和機械泵組成的。由于渦輪分子泵的轉速高，通常用中頻電機帶動(dòng)，中頻電源的頻率在300-400Hz之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。

CombiNEG系列采用安捷倫科技（Agilent Technologies），StarCell離子泵抽氣單元和賽斯(Saes Groups)的燒結型非蒸散型吸氣劑（NEG）。安捷倫真空（原瓦里安真空）是離子泵，賽斯是NEG吸氣劑泵的始創(chuàng )者。兩家公司累計超過(guò)100年的真空經(jīng)驗、各自的技術(shù)和緊密的合作是這一革命性的產(chǎn)品問(wèn)世的基礎。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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渦輪分子泵是一種用來(lái)獲取高真空的真空泵，典型的工作壓力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在極限狀態(tài)下，可以通過(guò)它實(shí)現 0.00000001Pa（大氣壓的十萬(wàn)億分之一）的超高真空。渦輪分子泵可以用于各類(lèi)質(zhì)譜儀（比如 GC/MS、LC/MS、TOF…）、鍍膜機、電子顯微鏡（SEM、TEM）、聚焦離子束系統（FIB）、表面分析儀器，高能物理實(shí)驗裝置、高真空實(shí)驗裝置等諸多應用。

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采用該技術(shù)的分子泵尺寸會(huì )更緊湊，并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比（特別是對小分子氣體的高壓縮比）可以帶來(lái)更好的極限真空，而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵，從而降低了整個(gè)真空系統的成本和尺寸。

采用該技術(shù)的分子泵尺寸會(huì )更緊湊，并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比（特別是對小分子氣體的高壓縮比）可以帶來(lái)更好的極限真空，而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵，從而降低了整個(gè)真空系統的成本和尺寸。

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近日，安捷倫真空推出了一款全新渦輪分子泵 TwisTorr 305，它繼承了安捷倫TwisTorr 系列分子泵超高真空、高壓縮比、全無(wú)油潤滑等優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)，還擁有諸多全新的特點(diǎn)，此外，TwisTorr 305 還是安捷倫采用全新設計和制造方法所推出的一款真空產(chǎn)品。

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安捷倫 TwisTorr 系列渦輪分子泵輕巧緊湊，可以任意角度安裝，而且其采用的 AFS 懸浮軸承技術(shù)可以補償輕微的系統振動(dòng)；對于一個(gè)緊湊便攜的系統而言，這些特點(diǎn)至關(guān)重要。

安捷倫擴散泵特點(diǎn)一抽氣快（壓力降的快）與擴散泵相比，前級泵（如羅茨泵）的抽速一般都會(huì )比較小，而且，在接近可以開(kāi)啟擴散泵的壓力時(shí)其抽速又會(huì )很明顯的下降，所以這個(gè)壓力段是好多真空設備真空泵抽速的瓶頸。安捷倫擴散泵的噴塔設計使其可以開(kāi)始抽氣的壓力和到達滿(mǎn)抽速的壓力都比較高，這樣，在前級泵抽速開(kāi)始下降的階段就可以更早的以更大的抽速介入，使真空設備的壓力可以很多的下降。